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5月15日，記者從山西省科技廳獲悉，山西省科技重大專項(xiàng)計(jì)劃“揭榜掛帥”項(xiàng)目——G10.5超大尺寸顯示面板智能化切割關(guān)鍵技術(shù)及裝備研發(fā)項(xiàng)目（以下簡(jiǎn)稱“超大顯示面板智能化切割項(xiàng)目”）已通過(guò)驗(yàn)收。

該項(xiàng)目聚焦硬脆材料精密切割核心工藝，突破了高精度對(duì)刀切割、AOI智能缺陷檢測(cè)、智能產(chǎn)線系統(tǒng)集成等關(guān)鍵技術(shù)，成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)G10.5超大尺寸顯示面板智能化切割生產(chǎn)線。

“該項(xiàng)目各項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)均達(dá)行業(yè)領(lǐng)先水平，形成了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成套工藝裝備與數(shù)字化管控體系，為國(guó)產(chǎn)超大尺寸顯示面板制造提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐?！表?xiàng)目負(fù)責(zé)人、中電科風(fēng)華切割事業(yè)部總經(jīng)理李大偉表示。

據(jù)介紹，目前全球最高世代線的玻璃基板尺寸為3370毫米×2940毫米，業(yè)界稱為G10.5代線，它在產(chǎn)能、切割效率和成本方面更具競(jìng)爭(zhēng)力。李大偉指出，我國(guó)G10.5超大尺寸顯示面板切割裝備長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，核心技術(shù)受制于人，產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)存在“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。

作為2023年度山西省科技重大專項(xiàng)計(jì)劃“揭榜掛帥”項(xiàng)目，超大顯示面板智能化切割項(xiàng)目由中北大學(xué)、太原科技大學(xué)和中電科風(fēng)華信息裝備股份有限公司聯(lián)合承擔(dān)?！癎10.5超大尺寸顯示面板尺寸大、超薄、硬脆，對(duì)切割工藝要求嚴(yán)苛?！痹擁?xiàng)目技術(shù)掛帥人、中北大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院院長(zhǎng)祝錫晶教授說(shuō)，超大顯示面板智能化切割存在諸多技術(shù)難題，如超大超薄顯示面板無(wú)法翻轉(zhuǎn)進(jìn)行雙面切割、超長(zhǎng)行程切割壓力與切割精度協(xié)同控制、多類型切割缺陷在線檢測(cè)與智能識(shí)別、切割工藝智能控制與數(shù)字化管理等。

針對(duì)這些產(chǎn)業(yè)技術(shù)痛點(diǎn)，項(xiàng)目采用對(duì)刀切割工藝，研制了超大尺寸顯示面板對(duì)刀切割核心工藝及系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過(guò)上下刀輪同步作用于顯示面板上下表面，在不翻轉(zhuǎn)基板的前提下完成雙向分?jǐn)?，消除了翻轉(zhuǎn)工序帶來(lái)的傳輸風(fēng)險(xiǎn)與結(jié)構(gòu)損傷，保證了切割線的一致性與分?jǐn)嗑龋瑵M足了G10.5超大尺寸顯示面板高精度切割要求。

此外，項(xiàng)目還研制了基于深度學(xué)習(xí)的AOI缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和動(dòng)態(tài)反饋缺陷；開發(fā)了面向數(shù)字化車間的生產(chǎn)線智能管控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了與數(shù)字化車間的高效協(xié)同。太原科技大學(xué)電子工程學(xué)院院長(zhǎng)王安紅教授表示，智能管控系統(tǒng)可實(shí)時(shí)監(jiān)控產(chǎn)品加工工藝全制程，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)全過(guò)程可追溯，全面檢測(cè)與預(yù)警設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，保障產(chǎn)線連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

該項(xiàng)目已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化落地，批量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)電子行業(yè)頭部企業(yè)，面板切割良品率達(dá)99.9%以上?！拔覀兂晒ρ邪l(fā)出國(guó)內(nèi)首臺(tái)G10.5超大尺寸顯示面板智能化切割生產(chǎn)線，已累計(jì)出貨10臺(tái)套，為G10.5高端顯示裝備國(guó)產(chǎn)化替代提供了關(guān)鍵支撐，有力保障了我國(guó)半導(dǎo)體顯示產(chǎn)業(yè)的自主可控與高質(zhì)量發(fā)展?！崩畲髠ケ硎?。

據(jù)悉，該項(xiàng)目實(shí)施期間，共申請(qǐng)發(fā)明專利10項(xiàng)、軟件著作權(quán)5項(xiàng)，參與修訂國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)。